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CIF 實驗室型等離子清洗機

CIF推出的新一代科研型等離子清洗設備,合理的結(jié)構(gòu)設計,優(yōu)化的腔體尺寸,使得處理樣品更大,適用范圍更廣。產(chǎn)品性能穩(wěn)定,操作簡單方便,易維護??

產(chǎn)品特點

u?7寸彩色觸摸屏中英文互動操作界面,自動控制監(jiān)測工藝參數(shù)狀態(tài),20個配方程序,工藝數(shù)據(jù)可存儲追溯。

u?PLC控制整個清洗過程,手動、自動兩種工作模式。

u?采用美國德威爾(Dwyer)氣體浮子流量計或質(zhì)量流量計(CPC-FM),可輸入氧氣、氬氣、氮氣、氫氣或混合氣等氣體,氣體控制精準。

u?氣體返填吹掃,HEPA高效過濾,防止二次污染。

u?316不銹鋼、石英真空可選擇,全真空管路系統(tǒng)采用316不銹鋼材質(zhì),耐腐蝕無污染。

u?采用60度傾角操作面板設計,符合人體功能學,操作方便,界面友好。

u?上控制下艙體結(jié)構(gòu)設計,結(jié)構(gòu)緊湊,占地空間小。

u?內(nèi)凹式前面板設計,有效保護流量計和艙門不易損壞。

u?處理快速高效均勻,無污染,工藝重復性好。

u?樣品處理溫度熱損傷和熱氧化

u?安全保護,艙門打開,自動關(guān)閉電源。

技術(shù)參數(shù)

型號

CPC-E

CPC-Eplus

CPC-F

CPC-Fplus

CPC-FM

CPC-FMplus

射頻電源

40KHz

13.56MHz

40KHz

13.56MHz

40KHz

13.56MHz

射頻功率

10-300W

10-150W

10-600W

10-150W

10-600W

10-150W

匹配器

動匹配

動匹配

自動匹配器

激發(fā)方式

電容式或電感耦合(ICP)

電容式或電感耦合(ICP)

電容式或電感耦合(ICP)

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